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职业简介

半导体光刻工艺工程师是做什么的?

职业定义

从集成电路制造中各部门的分工来说,光刻是为工艺集成(process intergration)服务的。最直接支持工艺集成的是光刻工艺工程师(lithography process engineer),又被称为“layer owner”。一个完整的集成电路制造流程有几十个光刻层,这些光刻层按技术的类似程度分配给光刻工艺工程师,使得他们分别负责一个或者几个光刻层。半导体光刻工艺工程师对所负责的光刻层做工艺参数的设置、优化;对工艺稳定性做日常监测,并及时解决出现的技术问题。

主要工作任务

研究产品需求:与设计团队合作了解产品特性和需求确定光刻工艺参数

制定工艺方案:根据产品需求和设备能力制定适合的光刻工艺方案并进行模拟和验证

设计掩膜:根据制定的工艺方案设计掩膜图形并将其转换成数字图像

准备光刻设备:配置光刻设备将掩膜图形转移到光刻模板上并进行校正和调试

进行光刻曝光:将准备好的样品放入光刻设备并进行曝光处理

进行后处理:对曝光完成的样品进行后处理包括去除残留的光刻剂清洗干燥步骤

进行检测和评估:对样品进行检测和评估评估其质量和性能是否符合要求

制定工艺方案:了解产品需求和设备能力制定合适的光刻工艺方案

设计掩膜:根据工艺方案设计掩膜图形并将其转换成数字图像

准备光刻设备:配置光刻设备将掩膜图形转移到光刻模板上并进行校正和调试

进行光刻曝光:对样品进行光刻曝光处理确保图形的准确传输

进行后处理:对曝光完成的样品进行后处理达到产品需要的精度和质量要求

进行检测和评估:对样品进行检测和评估评估其质量和性能是否符合要求并根据需要进行调整和改进

职业其他名称

光刻制程工程师半导体制造工程师光刻工程师制造工艺工程师纳米加工工程师光罩制备工程师

工作环境

半导体光刻工艺工程师的工作环境怎么样?

工作时间和强度

工作时长
较长
工作安排
固定
加班频率
经常加班
休息时间
法定节假日/无固定节假日

工作场所和工伤防范

常见的工作场地包括 :
实验室(室内),生产车间(室内),工厂(室内)。
可能的工伤类型 :
光化学病、职业性皮肤病、眼睛损伤
工伤防范建议 :
加强防护措施,如穿戴适当的防护服、手套、眼镜等,保持良好的通风环境,定期进行职业健康检查。
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